​超精密零件加工在尺寸（cùn）精度、形（xíng）狀精度、表麵質量等多（duō）個方麵都有極其嚴格的要求，以下是具體介（jiè）紹：
尺寸精度
公差（chà）範圍極小：超精密零件的尺寸公差通常被控製在微米（μm）甚至納米（nm）級別（bié）。例如，在航空航天領域，一些（xiē）發（fā）動機葉片的關鍵尺寸公（gōng）差可能要求控製在 ±5μm 以內；在半導體製造中，芯片製造所使用的光刻掩膜版的線條寬（kuān）度公差可達到 ±10nm 左右。
一致性要求高：對（duì）於一批超精密零件，不僅單（dān）個零件要滿足高精度要求，而且零件之間的尺寸一致性也必須極高。以手機攝（shè）像頭中的微（wēi）型光學鏡片為例，同一批次鏡片的直徑尺寸偏差要控製在極小範（fàn）圍（wéi）內（nèi），否則會影響攝像頭的成像質量。
形狀精度
平麵度：要求（qiú）零件的表麵平整度極高，例如，精密光學平麵鏡的平麵度可能要求達到 λ/10 甚至更高（λ 為光的波長，通常取 632.8nm），即平麵的起伏偏差在幾（jǐ）十納（nà）米以內。
圓度：像（xiàng）航空發動機的渦輪（lún）軸等關鍵零件，其圓度誤差通常要求控製在 0.001mm 以下，以確保在高速旋轉時的（de）穩定（dìng）性和可靠（kào）性。
圓柱度：對於一些高精度的（de）液壓油缸、氣動元件等，圓柱度（dù）要（yào）求（qiú）嚴（yán）格，可能在（zài） 0.002mm - 0.005mm 之間，以保證良好的密（mì）封性和運動精度。
位置精度
同軸度：在汽車發動機（jī）的曲軸加工中（zhōng），各軸頸（jǐng）的同軸度誤差一般要求（qiú）控製在 0.02mm - 0.05mm 之間，否則會影響（xiǎng）發動機的動力輸出和穩定性。
垂直（zhí）度與平行度：在精密模具製造中，模具的上下模板之（zhī）間的平行度誤差通常要（yào）求控製在 0.05mm 以內，以（yǐ）保證模具在合模時（shí）的精度，從而生產出高質量的產品（pǐn）。
表麵質（zhì）量
表麵粗（cū）糙度：超精密零件的表麵粗糙度一（yī）般要求（qiú）達到 Ra0.1μm - Ra0.01μm 甚至更（gèng）低。如硬盤的磁頭滑塊表麵，為了減少與磁盤的摩擦和提高讀寫性能，表麵粗糙度可能達到 Ra0.005μm 左右。
表麵完整性：除了粗糙度外，還要（yào）求表麵無微觀裂紋、劃痕、毛刺、氧化層等缺陷。例如在光學鏡片的加工中，表（biǎo）麵任何微小的劃痕或裂紋都（dōu）可能導致光線散射，影響光學性能。
材料（liào）性能一致性
微觀（guān）組織均勻性：零件材料的微觀組織如晶粒大小（xiǎo）、相組成等要均勻一致。以高強度合金鋼製造的航空零部件為（wéi）例，若材料微觀（guān）組織不均勻，會導致零件在受力時出現局部應（yīng）力集中，降低零件的整體性能和使用壽命。
性能穩定性：材料的力學性能、物理性能等要（yào）穩定。在（zài）電子元器（qì）件製造中，用於製（zhì）造芯片（piàn）的半（bàn）導體材（cái）料，其電阻率、載流子遷移率等性能參數（shù）必須在（zài）嚴格的範圍內，否則會影響芯片的性能（néng）和可靠（kào）性（xìng）。
裝配精度
間（jiān）隙配合精度：在機械手表的機芯裝配中，齒輪與軸之間的間（jiān）隙配合精度通常要求控製在 0.01mm - 0.03mm 之間，以保證手表的走（zǒu）時精度。
過盈配合精度：在汽車發動機的活塞與活塞銷裝配中，過盈量一般控製在 0.03mm - 0.05mm 之間，確保活（huó）塞與活塞（sāi）銷之間既能傳遞動（dòng）力，又能在不同工況下保持良好的工作狀態。